扫描电子显微镜 scanning electron microscope(SEM)

[摘要] 用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描，激发各种有用的物理信号来调制成像，获得反映样品表面特征的各种电子扫描像的一种电子光学仪器。

用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描，激发各种有用的物理信号来调制成像，获得反映样品表面特征的各种电子扫描像的一种电子光学仪器。