等离子化学气相沉积 plasma activated chemical vapour deposition(PCVD)

[摘要] 微波激活气体产生等离子使反应气体电离，电离的反应气体呈带电离子；带电离子重新结合时释放出的热能熔化气态反应物形成透明的石英玻璃沉积

微波激活气体产生等离子使反应气体电离，电离的反应气体呈带电离子；带电离子重新结合时释放出的热能熔化气态反应物形成透明的石英玻璃沉积薄层的工艺。