管外气相沉积 outside vapour deposition(OVD)

来源:建筑界编辑:黄子俊发布时间:2020-03-24 18:52:44

[摘要] 通过氢氧焰或甲烷焰中携带的四氯化硅等气态卤化物产生“粉末”,一层一层沉积获得芯玻璃的工艺。

通过氢氧焰或甲烷焰中携带的四氯化硅等气态卤化物产生“粉末”,一层一层沉积获得芯玻璃的工艺。

管外气相沉积,outside,vapour,deposition(OVD)

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