阵列工艺 array process

[摘要] 在玻璃基板上通过成膜、光刻、刻蚀等半导体工艺技术，制作有规则排列的特定薄膜晶体管(开关器件)阵列，以形成数据线、存储电容和信号线的工艺。

在玻璃基板上通过成膜、光刻、刻蚀等半导体工艺技术，制作有规则排列的特定薄膜晶体管(开关器件)阵列，以形成数据线、存储电容和信号线的工艺。