分子束外延 molecular-beam epitaxy(MBE)

[摘要] 通过聚焦的电子束源产生的电磁场，使硅原子蒸发得到外延反应所需的硅反应原子；硅原子束离开硅源，通过排泄腔体，不碰撞并直接沉积在硅衬底

通过聚焦的电子束源产生的电磁场，使硅原子蒸发得到外延反应所需的硅反应原子；硅原子束离开硅源，通过排泄腔体，不碰撞并直接沉积在硅衬底表面形成外延层的过程。