干法刻蚀 dry etching process

来源:建筑界编辑:黄子俊发布时间:2020-03-24 18:52:18

[摘要] 在气相中对基板表面、被蚀刻物质进行刻蚀的方法。

在气相中对基板表面、被蚀刻物质进行刻蚀的方法。

干法刻蚀,dry,etching,process

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