自动物料处理系统 automatic material handling system(AMHS)

来源:建筑界编辑:黄子俊发布时间:2020-03-24 18:21:07

[摘要] 在硅集成电路芯片工厂内部将硅片和掩模板在不同的工艺设备或不同的存储区域之间进行传输、存储和分发的自动化系统。

在硅集成电路芯片工厂内部将硅片和掩模板在不同的工艺设备或不同的存储区域之间进行传输、存储和分发的自动化系统。

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